集成电路无尘车间是满足半导体制造工艺要求的洁净室。该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、静电放电、AMC控制等有一定要求。与其它工业洁净室相比，集成电路无尘车间具有占地面积大、洁净度高、温湿度控制精度高等特点。

        灵活性：在这三个系统中，FFU系统的灵活性是最好的，特别适合当今集成电路生产技术的快速发展，因为随着生产技术的发展，对洁净度的要求更严格。隧道系统很难说是灵活的，隧道系统是一个以操作区为送风区，设备区为回风区的空气循环系统。集中送风系统具有一定的灵活性，但洁净系统改造时必须停机停产。如果我们想提高局部区域洁净度，除了在无尘车间顶部增加HEPA/ULPA过滤器外，还需要增加循环机组，这使得改造难度大，对生产的影响更大。使用FFU系统，可以方便地在局部增加FFU的数量或移动FFU的位置，而且可以在不停产的情况下进行，对生产影响很小。